تاثیر پارامترهای انباشت روی ساختار لایه های نازک مس و روی

در این پروژه، دستگاه لایه نشانی چند منظوره ای که در طی پروژه دیگری طراحی شده بود، تکمیل و راه اندازی شد. با استفاده از این دستگاه می توان تحت شرایط خلاء یکسان، اثر پارامترهای مختلف را روی ساختار لایه های نازک مورد بررسی قرار داد. مثلا برای بررسی اثر دمای زیر لایه، می توان در شرایط آزمایشی یکسان، شش دمای مختلف برای زیر لایه ها اعمال کرد. توسط این دستگاه، لایه های نازکی از فلزات روی (zn) و مس (cu) روی زیر لایه هایی از جنس فولاد ضدزنگ و شیشه، در دماهای مختلف برای زیر لایه و در دو زاویه تابش مختلف ، تهیه شدند. برای بررسی اثر پارامترهای مختلف لایه نشانی، نظیر دمای زیر و جنس آن و زاویه تابش ، روی ساختار و مشخصات لایه های نازک تهیه شده، آنالیزهای مختلفی انجام شدند که عبارت بودند از: آنالیز با استفاده از میکروسکوپ الکترونی پویشی (sem)، پراش پرتوهای ایکس (xrd)، طیف سنجی پس پراکندگی را در فورد (rbs)، گسیل پرتو ایکس القاء شده توسط پروتون (pixe) و طیف سنجی نور مرئی و امواج ماوراء بنفش . با استفاده از نتیجه های حاصل از این آنالیزها، ساختار لایه های نازک تهیه شده، توسط مدل منطقه ای ساختاری (szm) مورد بررسی قرار گرفته و سایر مشخصات این لایه ها نظیر ضخامت آنها و دانسیته عناصر موجود در آنها تعیین شد و اثر پارامترهای مختلف انباشت روی این مشخصات مورد بررسی قرار گرفت . نتایج بدست آمده درباره نحوه تغییرات اندازه دانه ها با دما، انرژی فعالسازی و رشد ترجیحی، با کارهای قبلی انجام شده در این زمینه ها نظیر کارهای گروونور و سوالونی، سازگاری خوبی به دست می دهند و این در حالی است که دستگاه مورد استفاده در این آزمایشها از اطمینان کمتری برخوردار است و شرایط آزمایشها نیز به خوبی شرایط موجود در آزمایشهای قبلی نیست . مثلا این لایه نشانیها در خلاء 10-6 torr انجام شده اند در حالی که در کارهای قبلی، خلاء حدود 10-10 torr بوده است .